High‑performance thermochromic VO2‑based coatings with a low transition temperature deposited on glass by a scalable technique

Abstract

Tématem článku jsou vysoce výkonné termochromické povlaky ZrO2/V0,982W0,018O2/ZrO2 s nízkou teplotou přechodu připravené na skle pomocí škálovatelné nízkoteplotní depoziční techniky. Vrstvy V0,982W0,018O2 byly deponovány pomocí kontrolovaného vysokovýkonového pulzního magnetronového rozprašování vanadového terče kombinovaného se současným pulzním DC magnetronovým rozprašováním wolframového terče za účelem snížení teploty přechodu na 20–21 °C, za nízké teploty povrchu substrátu 330 °C ve směsi plynů argon-kyslík. Antireflexní ZrO2 vrstvy pod i nad termochromickými vrstvami V0,982W0,018O2 byly připraveny za nízké teploty substrátu (< 100 °C). Struktura povlaku využívající interference druhého řádu na vrstvách ZrO2 byla využita za účelem zvýšení jak propustnosti viditelného světla (Tlum), tak rozdílu v propustnosti slunečního vyzařování (ΔTsol). Povlaky ZrO2/V0,982W0,018O2/ZrO2 vykazují Tlum až 60 % a ΔTsol téměř 6 % pro vrstvu V0,982W0,018O2 o tloušťce 45 nm, a Tlum až 50 % a ΔTsol přesahující 10 % pro vrstvu V0,982W0,018O2 o tloušťce 69 nm.