Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude
Date issued
2020
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
IOP Publishing
Abstract
Bipolární HiPIMS výboj s obdélníkovým kladným pulzem (s řiditelnou amplitudou, zpožděním a délkou) byl systematicky studován pomocí hmotnostní spektroskopie. Časově průměrovaná spektra energie iontů měřené v pozici substrátu vykazují výrazný vysokoenergetický pík. Jeho polohu lze ovlivnit amplitudou kladného pulzu. Výška píku se zvětšuje s rostoucí délkou kladného pulzu a šířku píku lze slabě ovlivnit délkou zpoždění kladného pulzu. Měření potenciálu plazmatu potvrzují, že vysokoenergetický pík je tvořen ionty urychlenými zvýšeným potenciálem plazmatu během kladného pulzu. Detaily spekter energie iontů byly dále objasněny pomocí časově rozlišené hmotnostní spektroskopie.
Description
Subject(s)
HiPIMS, bipolární HiPIMS, kladný pulz, diagnostika plazmatu, hmotnostní spektroskopie
Citation
KOZÁK, T., PAJDAROVÁ, A. D., ČADA, M., HUBIČKA, Z., MAREŠ, P., ČAPEK, J. Ion energy distributions at substrate in bipolar HiPIMS: effect of positive pulse delay, length and amplitude. Plasma sources science & Technology, 2020, roč. 29, č. 6, s. „065003-1“-„065003-10“. ISSN 0963-0252.