Design a optimalizace piezo-generátoru napětí s aktivní vrstvou oxidu zinku (ZnO)

Show simple item record
dc.contributor.advisorPrušáková Lucie, Ing. Ph.D.
dc.contributor.authorPastorek, Lukáš
dc.contributor.refereeKulha Pavel, Ing. Ph.D.
dc.date.accepted2016-5-31
dc.date.accessioned2017-02-21T08:15:16Z
dc.date.available2013-10-14
dc.date.available2017-02-21T08:15:16Z
dc.date.issued2016
dc.date.submitted2014-5-9
dc.description.abstractPředkládaná diplomová práce je zaměřená na design, optimalizaci a proces výroby tenkovrstvého piezoelektrického mikrogenerátoru. Jako aktivní prvek mikrogenerátoru slouží tenká vrstva oxidu zinečnatého (ZnO) uložená mezi izolačními vrstvami a hliníkovými kontakty. V teoretické části je popsán piezoelektrický jev, materiály vykazujících piezoelektrické vlastnosti, základní informace týkající oxidu zinečnatého, přehled základních metod výroby tenkých vrstev a některé ze základních principů analýzy tenkých vrstev. V experimentální části je návrh mikrogenerátoru, postup a přehled depozic provedených při výrobě generátoru a popis depoziční aparatury. V poslední části je zhodnocení výsledků týkající se měření generovaného napětí, vnitřní struktury a zbytkového pnutí.cs
dc.description.abstract-translatedThe present thesis is focused on design, optimization and process of production of the thin film piezoelectric microgenerator. As the active element is used Zinc Oxide (ZnO) layer, which is in between of two insulating layers of Al2O3 and aluminium contacts located. In the theoretical part is described piezoelectric phenomenon, the piezoelektric materials, the fundamental details of Zinc Oxide, the overview of the fundamental methods of fabrication of thin films and some of the analytical methods for thin films materials. In the experimental section are presented the design of the microgenerator, procedure and overview of depositions made by fabrication of the generator and description of the coating system. In the last part is the evaluation of results of generated voltage measurement, internal structure and residual stress.en
dc.description.resultObhájenocs
dc.format61 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier58722
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/22941
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectkrystalcs
dc.subjectkrystalická mřížkacs
dc.subjectšesterečná strukturacs
dc.subjectdeformacecs
dc.subjectpiezoelektrický jevcs
dc.subjectenergy harvestingcs
dc.subjectnanotechnologiecs
dc.subjectmikrogenerátorcs
dc.subjectvibracecs
dc.subjectdepozice tenkých vrstevcs
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectanalýza tenkých vrstevcs
dc.subjectzbytkové pnutí.cs
dc.subject.translatedcrystalen
dc.subject.translatedcrystal griden
dc.subject.translatedhexagonal structureen
dc.subject.translateddeformationen
dc.subject.translatedpiezoelectric effecten
dc.subject.translatedenergy harvestingen
dc.subject.translatednanotechnologyen
dc.subject.translatedmicrogeneratoren
dc.subject.translatedvibrationen
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translateddeposition of znoen
dc.subject.translatedthe analysis of thin filmen
dc.subject.translatedresidual stress.en
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta elektrotechnickács
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-programElektrotechnika a informatikacs
dc.titleDesign a optimalizace piezo-generátoru napětí s aktivní vrstvou oxidu zinku (ZnO)cs
dc.title.alternativeDesign and optimization of piezo-generator with zinc oxide (ZnO) active layeren
dc.typediplomová prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=58722

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
DP_Lukas_Pastorek.pdf
Size:
1.37 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
058722_vedouci.pdf
Size:
346.05 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
058722_oponent.pdf
Size:
526.97 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
058722_hodnoceni.pdf
Size:
222.51 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Theses (KEE)