Design a optimalizace piezo-generátoru napětí s aktivní vrstvou oxidu zinku (ZnO)
Date issued
2016
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Předkládaná diplomová práce je zaměřená na design, optimalizaci a proces výroby tenkovrstvého piezoelektrického mikrogenerátoru. Jako aktivní prvek mikrogenerátoru slouží tenká vrstva oxidu zinečnatého (ZnO) uložená mezi izolačními vrstvami a hliníkovými kontakty.
V teoretické části je popsán piezoelektrický jev, materiály vykazujících piezoelektrické vlastnosti, základní informace týkající oxidu zinečnatého, přehled základních metod výroby tenkých vrstev a některé ze základních principů analýzy tenkých vrstev.
V experimentální části je návrh mikrogenerátoru, postup a přehled depozic provedených při výrobě generátoru a popis depoziční aparatury. V poslední části je zhodnocení výsledků týkající se měření generovaného napětí, vnitřní struktury a zbytkového pnutí.
Description
Subject(s)
krystal, krystalická mřížka, šesterečná struktura, deformace, piezoelektrický jev, energy harvesting, nanotechnologie, mikrogenerátor, vibrace, depozice tenkých vrstev, magnetronové naprašování, analýza tenkých vrstev, zbytkové pnutí.