Modelování vlivu kinetické energie atomů kovu a kyslíku na růst krystalických oxidů

Date issued

2016

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Práce za pomoci klasické molekulární dynamiky využívající Buckinghamův empirický potenciál optimalizuje některé technické parametry simulační procedury, a následně simuluje růst vrstev Al2O3 na substrátu alfa-Al2O3 (0001) za teploty 300 K. Byla vyhodnocena zejména krystalinita vzniklých vrstev v závislosti na poměru počtů pomalu (1 eV) a rychle dopadajících atomů. Prokázalo se, že při dodržení optimální energie rychle dopadajících atomů 60 eV a nepřítomnosti pomalých atomů může krystalická vrstva alfa-Al2O3 nepřetržitě růst již za teploty 300 K. S rostoucím podílem pomalých atomů se krystalinita vrstvy snižuje; toto snížení je přítomné také v případě energie rychlých atomů zvýšené za účelem zachování průměrné hodnoty 60 eV na dopadající atom. Stejný trend byl nalezen i pro případ měnícího se podílu rychlých atomů jen jednoho z prvků. Rovněž bylo odhaleno zvýšení krystalinity pro vyšší cutoff Buckinghamova potenciálu. Zjištěné poznatky tak určují možný způsob nízkoteplotní depozice krystalického alfa-Al2O3 a zároveň upozorňují na významné, ale dosud opomíjené metodologické aspekty těchto simulací.

Description

Subject(s)

al2o3, molekulární dynamika, růst krystalu, růst v přítomnosti iontů, design cest pro přípravu materiálů požadovaných vlastností

Citation

OPEN License Selector