Metody měření vnitřního pnutí v tlustých vrstvách
Date issued
2022
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato práce se zabývá popisem technologií tlustých vrstev, dále je zde uveden popis metod měření vnitřního pnutí v tlustých vrstvách. Je zde proveden návrh experimentálního přípravku pro měření vnitřního pnutí metodou nosníku a tato metoda byla otestována na 10 skupinách vzorků, které obsahovaly pasty stříbrné, dielektrické a jejich kombinaci. V hlavní části jsou interpretovány výsledky měření, které potvrzují proveditelnost a funkčnost vybrané metody.
Description
Subject(s)
tlusté vrstvy, metody měření pnutí v tlustých vrstvách, měření pnutí ve vrstvách, pnutí, metoda nosníku.