Vliv průměrné výkonové hustoty na terči během depozice vrstev HfO2 pomocí reaktivního vysoko-výkonového pulzního magnetronového naprašování

Abstract

Tato práce se zabývá vysoko-výkonovou pulzní magnetronovou depozicí (tzv. HiPIMS) tenkých vrstev dioxidu hafnia. Jsou zkoumány vlastnosti tenkých vrstev HfO2 připravených touto metodou v závislosti na průměrné výkonové hustotě na terči v periodě při délce pulzu 200 s a střídě 10 %. Byly provedeny čtyři depozice s průměrnými výkonovými hustotami 5,5; 18; 33 a 54 Wcm-2. Mezi zkoumané vlastnosti těchto tenkých vrstev patří mikrotvrdost, index lomu, extinkční koeficient a strukturní složení. Také je vyšetřována závislost depoziční rychlosti na průměrné výkonové hustotě. Bylo zjištěno, že depoziční rychlost, mikrotvrdost i Youngův modul rostly se střední výkonovou hustotou. Díky použití řídicího systému bylo dosahováno vysokých depozičních rychlostí (347 nm/min). Všechny vrstvy jsou transparentní. Dále jsou zkoumány časové průběhy celkového tlaku, průtoku kyslíku a magnetronového proudu během depozice.