Diagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstev

Show simple item record
dc.contributor.advisorPajdarová, Andrea Dagmar
dc.contributor.authorŠímová, Veronika
dc.contributor.refereeKozák, Tomáš
dc.date.accepted2012-06-27
dc.date.accessioned2013-06-19T06:55:55Z
dc.date.available2011-05-01cs
dc.date.available2013-06-19T06:55:55Z
dc.date.issued2012
dc.date.submitted2012-06-18
dc.description.abstractTato bakalářská práce je zaměřena na diagnostiku pulzních výbojů při depozici vrstev prostřednictvím optické emisní spektroskopie. V první části jsou popsány metody magnetronového naprašování, atomová a molekulová spektra a přístroje používané při optické emisní spektroskopii. Druhá část je věnována zkoumání spekter naměřených s použitím tantalového terče v atmosféře argonu v závislosti na střední hustotě výkonu v periodě při opakovací frekvenci pulzů napětí 500 Hz, délce pulzu 200 ?s, tlaku argonu 2 Pa a kolmé i podélné vzdálenosti kolimátoru od terče 20 mm. Dále byla zkoumána také závislost koncentrace zářivých stavů střední hustotě výkonu v periodě.cs
dc.description.abstract-translatedThe bachelor thesis is focused on diagnostics of pulsed magnetron discharges during the deposition of thin films by means of optical emission spectroscopy. The first part of the thesis is dedicated to methods of magnetron sputtering, atomic and molecular spectra and equipment for optical emission spectroscopy. The second part is devoted to investigation of spectra measured with the use of tantalum target in argon atmosphere in dependence on an average power loading in a period at a repetition frequency of 500 Hz, a length of the voltage pulse of 200 ?s, an argon pressure of 2 Pa and both a vertical and a longitudinal distance of the collimator from the target of 20 mm. Furthermore the dependence of a concentration of radiative states on an average power loading in a pulse is analysed.en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format50 s. (66 000 znaků)cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier49908
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/3715
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjecttenké vrstvycs
dc.subjectpulzní magnetronové naprašovánícs
dc.subjectatomová a molekulová spektracs
dc.subjectoptická emisní spektroskopiecs
dc.subjectdiagnostika plazmatucs
dc.subject.translatedthin filmsen
dc.subject.translatedpulsed magnetron sputteringen
dc.subject.translatedatomic and molecular spectraen
dc.subject.translatedoptical emission spectroscopyen
dc.subject.translatedplasma diagnosticsen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titleDiagnostika vysokovýkonových pulzních magnetronových výbojů pro reaktivní depozici vrstevcs
dc.title.alternativeDiagnostics of high-power impulse magnetron discharges for deposition of thin filmsen
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49908

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
Simova_Veronika-Diagnostika vysokovykonovych pulznich magnetronovych vyboju pro depozici vrstev.pdf
Size:
2.25 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Simova_vedouci.pdf
Size:
393.46 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Simova_oponent.pdf
Size:
920.5 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Simova_otazky.pdf
Size:
213.91 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Bachelor´s works (KFY)