Design and fabrication of MEMS low power heating membrane
Date issued
2012
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická
Abstract
Description
Subject(s)
nízkospotřebové tepelné membrány, výrobní proces
Citation
Electroscope. 2012, č. 6, EDS 2012.