Phase formation and mechanical properties of reactively and non-reactively sputtered Ti-B-N hard coatings

Abstract

Článek systematicky studuje vliv obsahu B ve vrstvách Ti-B-N připravených reaktivním i nereaktivním magnetronovým naprašováním. Rozdílné postupy depozice vedou na odlišné mikrostruktury a vazebné charakteristiky připravených vrstev. Během reaktivní depozice Ti-B-N dominují vazby B-N, zatímco vazby B-B a Ti-B dominují při nereaktivní depozici. Rentgenová difrakce a transmisní elektronová mikroskopie prokazují, že až 10 at.% B může být rozpuštěno v fcc mřížce Ti-N u vrstev připravených nereaktivním naprašováním. Na druhou stranu u vrstev připravených reaktivním naprašováním s obsahem B 4 at.% dochází již ke vzniku fáze BN.

Description

Subject(s)

Depozice z plynné fáze, Nereaktivní magnetronové naprašování, Mez pevnosti, Ti-B-N

Citation

HAHN, R., TYMOSZUK, A., WOJCIK, T., KIRNBAUER, A., KOZÁK, T., ČAPEK, J., SAUER, M., FOELSKE, A., HUNOLD, O., POLCIK, P., MAYRHOFER, P., RIEDL, H. Phase formation and mechanical properties of reactively and non-reactively sputtered Ti-B-N hard coatings. Surface and Coatings Technology, 2021, roč. 420, č. 25 AUG 2021, s. "127327-1" - "127327-11". ISSN 0257-8972.
OPEN License Selector