Raman spectroscopy used to assess the temperature and mechanical stress in thin films of microelectronic structures
Date issued
2018
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická
Abstract
Description
Subject(s)
Ramanova spektroskopie, mikroelektronické struktury, tenké vrstvy, zkoušení materiálu
Citation
Electroscope. 2018, č. 1.