Raman spectroscopy used to assess the temperature and mechanical stress in thin films of microelectronic structures

Date issued

2018

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická

Abstract

Description

Subject(s)

Ramanova spektroskopie, mikroelektronické struktury, tenké vrstvy, zkoušení materiálu

Citation

Electroscope. 2018, č. 1.
OPEN License Selector