Vyšetřování optických vlastností tenké vrstvy terární sloučeniny Zn-Ti-O připraveného magnetronovým reaktivním konaprašováním
Date issued
2017
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Elsevier
Abstract
Tenké vrstvy Zn-Ti-O s různou koncentrací titanu byly deponovány reaktivním magnetronovým konaprašováním v reaktivní Ar/O2 atmosféře ze zinkového a titanového terče. Bylo zjišťěno, že se zvyšujícím obsahem Ti se struktura mění z plně krystalické wurzitové struktury ZnO se silnou přednostní kolumnární orientací na amorfní materiál Zn-Ti-O s 12.5 at% Ti. Optické parametry (spektrální index lomu a extinkční koeficient, optická šířka zakázaného pásu) a tloušťka vrstev byly hodnoceny kombinací elipsometrického měření a měření propustnosti na UV-Vis spektrofotometru. Pro hodnocení optických parametrů byl použit Cody-Lorentzův disperzní model.
Description
Subject(s)
Zn-Ti-O tenká vrstva, magnetronové konaprašování, optické vlastnosti, spektroskopická elipsometrie, Cody-Lorentzův model, strukturní vlastnosti
Citation
NETRVALOVÁ, M., NOVÁK, P., ŠUTTA, P., MEDLÍN, R. Investigation of optical properties of ternary ZN-TI-O thin films prepared by magnetron reactive co-sputtering. Applied surface science, 2017, roč. 421, č. NOV 1 2017, s. 674-679. ISSN 0169-4332.