Effects of power per pulse on reactive HiPIMS deposition of ZrO2 films: A time-resolved optical emission spectroscopy study
Date issued
2019
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
AIP Publishing
Abstract
Časově rozlišená optická emisní spektroskopie byla provedena během řízené vysokovýkonové pulzní magnetronové depozice ZrO2 vrstev v argon-kyslíkové atmosféře. Byl studován vliv zvýšené hustoty výkonu aplikované v napěťových pulzech zkrácených z 200 na 50 μs. Bylo shledáno, že rozprašované atomy Zr jsou intenzivněji ionizovány a hustota Ar atomů více poklesla během těchto krátkých (50 μs) vysokovýkonových pulzů. Vyšší zpětný tok Zr iontů na terč během vysokovýkonového režimu výrazně přispívá k 34% poklesu v efektivnosti magnetronové depozice ZrO2 vrstev.
Description
Subject(s)
Optická emisní spektroskopie, dynamika procesu, reaktivní HiPIMS, depozice ZrO2, opticky transparentní vrstvy
Citation
PAJDAROVÁ, A. D., VLČEK, J. Effects of power per pulse on reactive HiPIMS deposition of ZrO2 films: A time-resolved optical emission spectroscopy study. Journal of Vacuum Science and Technology A, 2019, roč. 37, č. 6, s. „061305-1“-„061305-10“. ISSN 0734-2101.