Microstructure evolution in amorphous Hf–B–Si–C–N high temperature resistant coatings after annealing to 1500 °C in air

Date issued

2019

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Nature Publishing Group

Abstract

Amorfní povlaky Hf–B–Si–C–N vykazují velmi vysokou vysokoteplotní oxidační odolnost. V této práci je zkoumán vývoj mikrostruktury povlaků Hf7B23Si22C6N40 a Hf6B21Si19C4N47 vyžíhaných do 1500 °C s cílem pochopit jejich vysokou oxidační odolnost. Vyžíhané povlaky vykazují dvouvrstvou strukturu zahrnující původní nadeponovaný materiál s horní zoxidovanou vrstvou. Mikrostruktura zoxidované vrstvy je v obou případech tvořena nanokrystalky HfO2 rozptýlenými v amorfní matrici na bázi SiOx. V případě povlaku Hf7B23Si22C6N40 zůstává spodní vrstva amorfní, zatímco v případě povlaku Hf6B21Si19C4N47 částečně rekrystalizuje a tvoří nanokrystalky HfB2 a HfN, které jsou oddělené fázemi h-Si3N4 a h-BN. Fáze HfB2 a HfN vytváří sendvičovou koherentní nanostrukturu spojenou přes monovrstvu (111)-Hf. Navzdory rozdílnému složení původních povlaků vykazuje rozhraní dvouvrstvé struktury v obou případech podobnou mikrostrukturu s jemným rozmístěním nanokrystalků HfO2, které jsou obklopeny fází SiO2. Vysokoteplotní oxidační odolnost obou povlaků je přisuzována konkrétnímu vývoji mikrostruktury obsahující nanokrystalky HfO2 zabudované v husté matrici na bázi amorfního SiOx a krystalického SiO2 (křemen) na rozhraní dvouvrstvé struktury, které slouží jako bariéra pro difúzi kyslíku a přestup tepla.

Description

Subject(s)

Vrstvy Hf–B–Si–C–N, Pulzní magnetronové naprašování, Vysokoteplotní oxidační odolnost, TEM

Citation

SHEN, Y., JIANG, J., ZEMAN, P., ŠÍMOVÁ, V., VLČEK, J., MELETIS, E. I. Microstructure evolution in amorphous Hf–B–Si–C–N high temperature resistant coatings after annealing to 1500 °C in air. Scientific Reports, 2019, roč. 9, č. 5 MAR 2019, s. „3603-1“ - „3603-11“. ISSN 2045-2322.