Tuning Stoichiometry and Structure of Pd-WO3−x Thin Films for Hydrogen Gas Sensing by High-Power Impulse Magnetron Sputtering
Date issued
2020
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
MDPI
Abstract
Použitím metody HiPIMS (vysokovýkonové pulzní magnetronové naprašování) a změnou parametrů při depozici jsme připravili vrstvy oxidu wolframu s různou stechiometrií a krystalickou strukturou. Po následném žíhání byly vrstvy podrobeny pečlivé analýze krystalické struktury (XRD), morfologie (SEM), složení (Ramanova spektroskopie, EDS) a upraveny jako konduktometrické senzory vodíku. Bylo zjištěno, že pomocí vhodného složení (substechiometrie okolo WO2,76) je možné syntetizovat vrstvy, které během žíhání krystalizují v monoklinické fázi. Tato fáze se ukázala jako nejcitlivější na vodík. Pro zvýšení citlivosti a snížení detekční teploty byly použity částice paladia připravené konvenčním DC magnetronovým naprašováním.
Description
Subject(s)
Oxid wolframu, WO3, detekce vodíku, kontuktometrický plynový senzor, HiPIMS, stechiometrie
Citation
KUMAR, N., HAVIAR, S., REZEK, J., BAROCH, P., ZEMAN, P. Tuning Stoichiometry and Structure of Pd-WO3−x Thin Films for Hydrogen Gas Sensing by High-Power Impulse Magnetron Sputtering. Materials, 2020, roč. 13, č. 22, s. „5101-1“-„5101-12“. ISSN 1996-1944.