Nanostrukturované tenkovrstvé materiály na bázi směsi sloučeninových nanočástic pro detekci vodíku

Abstract

Tato práce se zabývá konduktometrickými plynovými senzory ve formě nanostrukturovaných tenkovrstvých materiálů na bázi směsi oxidů kovů, konkrétně CuO (polovodič typu p) a WO3 (polovodič typu n). Je představen aktuální stav literatury v oblasti této problematiky, následovaný analýzou struktury a senzorických vlastností tenkých vrstev CuOWO3 připravených metodou magnetronového naprašování s plynnou agregací nanočástic. V průběhu práce jsou připraveny tenké vrstvy s různým poměrem CuO:WO3 s cílem analyzovat vliv složení na strukturu a senzorickou odezvu vrstev vůči H2. Charakterizace struktury je prováděna skenovací elektronovou mikroskopií, rentgenovou difrakcí a Ramanovou spektroskopií. Senzorické vlastnosti vrstev jsou měřeny na systému se speciálně upravenou čtyřbodovou sondou. Na základě získaných dat jsou diskutovány mechanismy ovlivňující senzorické vlastnosti vrstev pro různé poměry složek a je určen optimální poměr vykazující nejlepší senzorické vlastnosti.