Thin Films of Barium Strontium Titanate from the Viewpoint of Light-Based Applications

Abstract

V tento příspěvek pojednává o výsledcích experimentu z transmisní optické spektroskopie doplněných o data ze strukturní rentgenové analýzy na určení optických vlastností série deponovaných a tepelně zpracovaných (na 900°C) vrstev BaSrTiO3 (BST) vytvořených RF magnetronovým naprašováním. Vzorky v sérii se liší teplotou substrátu v průběhu depozice a dodatečným dodáním kyslíku k argonu do depoziční komory. Perovskitová struktura s nevýraznou přednostní orientací krystalitů ve směru [110] byla zjištěna ve vzorkách tepelně zpracovaných, zatím co vzorky v původním stavu byly amorfní. Disperzivní optické vlastnosti – indexy lomu, absorpční koeficienty a optické šířky zakázaného pásma energií byly určeny ze spekter transmitance. Indexy lomu vzorků po tepelném zpracování se zvýšily potvrzujíc zhuštění materiálu spojené se smrštěním tloušťky vrstev. Optické šířky zakázaného pásma energií určeny Taucovou procedurou jako iso-absorpční hladiny byly rovněž shledány v závislosti na parametrech depozice.