Příprava a charakterizace nanostrukturních oxidů kovů

Abstract

V rámci této práce byly připraveny vrstvy oxidu wolframu s různými stechiometriemi pomocí reaktivního magnetronového naprašování s použitím wolframového terče. Tyto vrstvy mohou sloužit jako plynové senzory. K zlepšení senzorické odezvy na vodík bylo použito palladium jako katalyzátor. Vrstvy byly zkoumány pomocí rentgenové difrakce, mikroskopu atomárních sil, skenovacího elektronového mikroskopu a testovány na senzorickou odezvu. Připravené vrstvy vykazují dobrou senzorickou odezvu a nejnižší měřitelná koncentrace je 100 ppm. Vlastnosti senzoru jsou ovlivněny použitím přidaného vzácného kovu, stechiometrií a tloušťkou vrstvy.