Magnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cu

Show simple item record
dc.contributor.advisorZeman Petr, Prof. Ing. Ph.D.
dc.contributor.authorHodan, Ondřej
dc.contributor.refereeRezek Jiří, Ing. Ph.D.
dc.date.accepted2023-8-31
dc.date.accessioned2024-01-08T23:11:24Z
dc.date.available2022-10-15
dc.date.available2024-01-08T23:11:24Z
dc.date.issued2023
dc.date.submitted2023-7-14
dc.description.abstractTato diplomová práce se zabývá přípravou a zkoumáním magnetronově naprašovaných tenkovrstvých materiálů ze systému W-Zr-Cu. Jedná se o zcela nové materiály, o kterých zatím nebyla publikována žádná studie. Cílem práce bylo připravit tyto materiály s širokém rozsahu složení a charakterizovat je pomocí různých analytických metod. Vrstvy byly zkoumány z hlediska struktury, mikrostruktury a povrchové morfologie pomocí rentgenové difrakce, skenovací elektronové mikroskopie a mikroskopie atomárních sil. Dále pak byly indetačními metodami měřeny mechanické vlastnosti, přičemž byl brán ohled na přítomnost pile-up efektů. V neposlední řadě byla také měřena elektrická rezistivita pomocí čtyřbodové metody. Naměřená data byla zpracovávána a diskutována v kontextu současného poznání dílčích systémů Zr-Cu, W-Zr a W-Cu.cs
dc.description.abstract-translatedThis thesis deals with the preparation and investigation of magnetron sputtered thin film materials from the W-Zr-Cu system. These are completely new materials about which no study has been published so far. The aim of the thesis was to prepare these materials in a wide range of compositions and to characterize them using various analytical methods. The films were investigated in terms of structure, microstructure and surface morphology using X-ray diffraction, scanning electron microscopy and atomic force microscopy. Furthermore, mechanical properties were measured by indentation methods taking into account the presence of pile-up effects. Finally, the electrical resistivity was also measured using the four-point probe. The measured data were processed and discussed in the context of the current understanding of the Zr-Cu, W-Zr and W-Cu sub-systems.en
dc.description.resultObhájeno
dc.format85
dc.identifier93939
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/55048
dc.language.isocs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plzni
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení
dc.subjectw-zr-cucs
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectstrukturacs
dc.subjectpile-upcs
dc.subjecttvrdostcs
dc.subjectyoungův modulcs
dc.subjectrezistivitacs
dc.subject.translatedw-zr-cuen
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedstructureen
dc.subject.translatedpile-upen
dc.subject.translatedhardnessen
dc.subject.translatedyoung modulusen
dc.subject.translatedresistivityen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd
dc.thesis.degree-levelNavazující
dc.thesis.degree-nameIng.
dc.thesis.degree-programAplikovaná fyzika a fyzikální inženýrství
dc.titleMagnetronová depozice tenkovrstvých slitin ze systému W-Zr-Cucs
dc.typediplomová práce

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
Hodan_DP.pdf
Size:
53.49 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
DP_Hodan_oponent.pdf
Size:
190.58 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
DP_Hodan_vedouci.pdf
Size:
61.01 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
DP_Hodan_obhajoba.pdf
Size:
54.38 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Theses (KFY)