A novel hybrid integrated system for capacitive pressure MEMS sensors
Files
Date issued
2009
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická
Abstract
Description
Subject(s)
kapacitní senzory tlaku MEMS, hybridní integrované obvody, zpracování signálu
Citation
Electroscope, 2008, Konference EDS 2009.