A novel hybrid integrated system for capacitive pressure MEMS sensors

Date issued

2009

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická

Abstract

Description

Subject(s)

kapacitní senzory tlaku MEMS, hybridní integrované obvody, zpracování signálu

Citation

Electroscope, 2008, Konference EDS 2009.

Collections

OPEN License Selector