Structural analysis of Ni-doped SrTiO3: XRD study

Abstract

Náplní této práce je studium struktutry niklem dopovaného SrTiO3 pomocí rentgenové difrakce. Všechny vzorky byly připravené pomocí magnetronového naprašování na Si a SiO2 subrstrát. Hlavním cílem práce bylo monitorování krystalizace deponovaných vrstev SrTiO3 dopovaných niklem. RTG měření bylo provedeno na vzorcích v původnímdeponovaném stavu a ve stavu po vyžíhání ve vakuu při teplotě 900 °C. Rentgenová analýza byla provedena pomocí obou geometrií (symetrické i asymetrické). Tato měření poskytla informace o vlivu niklu na finální strukturu, velikost krystalitů, mikronapětí a deformaci mřížky. Zejména je demonstrován vliv niklu na krystalizaci SrTiO3 v porovnání s nedopovaným SrTiO3.