Vliv tloušťky nanokompozitních vrstev Si-Zr-O na jejich mechanické vlastnosti

Abstract

Tato práce se zabývá problematikou tenkých vrstev deponovaných reaktivním magnetronovým naprašování. Řeší vliv tloušťky nanokompozitních vrstev Zr-Si-O na jejich mechanické vlastnosti. Práce se hlavně zaměřuje na vyšetření všech mechanických vlastností měřené mikrotvrdoměrem Fisherscope H100. Zkoumá závislost mezi zatížením a měřenými vlastnostmi jako jsou např. tvrdost, efektivní Youngův modul pružnosti, elastická vratnost materiálu a odolnost materiálu proti plastické deformaci. Dále práce zkoumá ovlivnění mechanických vlastností substrátem, vyhodnocuje specifická zatížení významě podílející se na odlišnosti výsledků, vyšetřuje měření s rozdílným počtem indentací (?vpichů?) a s rozdílnou zatěžovací dobou. Práce se také zaměřuje na měření těchto mechanických vlastností na vrstvách s různou strukturou.