Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2
Date issued
2017
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici termochromických vrstev VO2 pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje HiPIMS. Jsou zde popsány unikátní vlastnosti tohoto oxidu, způsob jeho syntézy s využitím zpětnovazebního řízení RGFC a možnost zvýšení transmitance ve viditelném spektru přidáním antireflexní vrstvy. Uveden je též detailní popis vakuové depoziční aparatury a přístrojů pro měření vlastností jednotlivých vzorků, jako je například spektrofotometr či čtyřbodová metoda.
Description
Subject(s)
oxid vanadičitý, termochromické vrstvy, reaktivní magnetronové naprašování, hipims, antireflexní vrstva