Vysokovýkonová pulzní reaktivní magnetronová depozice termochromických vrstev na bázi VO2

Date issued

2017

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Tato práce je zaměřena na reaktivní depozici termochromických vrstev VO2 pomocí vysokovýkonového pulzního magnetronového zdroje HiPIMS. Jsou zde popsány unikátní vlastnosti tohoto oxidu, způsob jeho syntézy s využitím zpětnovazebního řízení RGFC a možnost zvýšení transmitance ve viditelném spektru přidáním antireflexní vrstvy. Uveden je též detailní popis vakuové depoziční aparatury a přístrojů pro měření vlastností jednotlivých vzorků, jako je například spektrofotometr či čtyřbodová metoda.

Description

Subject(s)

oxid vanadičitý, termochromické vrstvy, reaktivní magnetronové naprašování, hipims, antireflexní vrstva

Citation

OPEN License Selector