Tvorba polykrystalických křemíkových vrstev rekrystalizací amorfního křemíku deponovaného metodami PVD a CVD
Date issued
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Diplomová práce se zabývá tvorbou amorfních křemíkových vrstev o tloušťce přibližně 1 mikrometr, jejich tepelným zpracováním pro přeměnu amorfní fáze na krystalickou a vyhodnocením vlivu odlišných depozičních technik na strukturu po tepelném zpracování. Práce se zabývá výzkumem mikrostrukturních a optických vlastností vrstev po tepelném zpracování ve srovnání s výchozí strukturou po depozici. Vrstvy se využívají zejména pro tenkovrstvé solární články II. a III. generace. V systému solárních článků plní zkoumané vrstvy funkci absorpční.
Description
Subject(s)
amorfní křemík, mikrokrystalický křemík, tenké vrstvy, polovodiče, p-i-n přechod, tepelné zpracování, rekrystalizace, zakázaný pás, CVD depozice, PVD depozice, rentgenová difrakční analýza, optická spektroskopie, strukturní vlastnosti, absorpční vlastnosti, elektromagnetické záření, solární články.