Pulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-N
| dc.contributor.advisor | Vlček, Jaroslav | |
| dc.contributor.author | Vytisk, Tomáš | |
| dc.contributor.referee | Baroch, Pavel | |
| dc.date.accepted | 2012-06-27 | |
| dc.date.accessioned | 2013-06-19T06:55:58Z | |
| dc.date.available | 2011-05-01 | cs |
| dc.date.available | 2013-06-19T06:55:58Z | |
| dc.date.issued | 2012 | |
| dc.date.submitted | 2012-05-28 | |
| dc.description.abstract | Tato práce popisuje současnou problematiku tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Ukazuje jakých výsledků se do této doby dosáhlo a jaké jsou další možnosti. V další části práce jsou popsány metody tvorby tenkovrstvých systémů zejména pulzní magnetronová depozice. Dále pak metody studia a hodnocení vlastností vrstev (Mechanické, elektrické vlastnosti a oxidační odolnost vrstev za vysokých teplot). V závěru práce jsou prezentovány výsledky, kterých bylo dosaženo při tvorbě Zr-Si-B-C-N vrstev. | cs |
| dc.description.abstract-translated | This work investigates current problems of thin films based on Zr and B4C. It shows present achievements and opportunities of this field of study. In next part of the work are described methods of deposition of thin films especially pulsed magnetron deposition. Furthermore methods of observation and study of properties of thin films are described. For example: mechanical and electrical properties and high temperature oxidation resistance. The results of deposition of Zr-Si-B-C-N are present at the end of the work. | en |
| dc.description.department | Katedra fyziky | cs |
| dc.description.result | Obhájeno | cs |
| dc.format | 41 s. (49 500 znaků) | cs |
| dc.format.mimetype | application/pdf | |
| dc.identifier | 49976 | |
| dc.identifier.uri | http://hdl.handle.net/11025/3718 | |
| dc.language.iso | cs | cs |
| dc.publisher | Západočeská univerzita v Plzni | cs |
| dc.rights | Plný text práce je přístupný bez omezení. | cs |
| dc.rights.access | openAccess | en |
| dc.subject | Tenké vrstvy; magnetronová depozice; naprašování; Zr-Si-B-C-N; mechanické vlastnosti; rezistivita; oxidační odolnost | cs |
| dc.subject.translated | Thin films; magnetron deposition; sputtering; Zr-Si-B-C-N; mechanical properties; resistivity; oxidation resistance | en |
| dc.thesis.degree-grantor | Západočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných věd | cs |
| dc.thesis.degree-level | Bakalářský | cs |
| dc.thesis.degree-name | Bc. | cs |
| dc.thesis.degree-program | Aplikované vědy a informatika | cs |
| dc.title | Pulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-N | cs |
| dc.title.alternative | Pulsed magnetron deposition of Zr-Si-B-C-N thin films | en |
| dc.type | bakalářská práce | cs |
| local.relation.IS | https://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49976 |
Files
Original bundle
1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
- Name:
- Bakalarska prace Tomas Vytisk.pdf
- Size:
- 2.07 MB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Plný text práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Vytisk_vedouci.pdf
- Size:
- 296.02 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek vedoucího práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Vytisk_oponent.pdf
- Size:
- 485.07 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Posudek oponenta práce
No Thumbnail Available
- Name:
- Vytisk_otazky.pdf
- Size:
- 202.52 KB
- Format:
- Adobe Portable Document Format
- Description:
- Průběh obhajoby práce