Pulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-N

dc.contributor.advisorVlček, Jaroslav
dc.contributor.authorVytisk, Tomáš
dc.contributor.refereeBaroch, Pavel
dc.date.accepted2012-06-27
dc.date.accessioned2013-06-19T06:55:58Z
dc.date.available2011-05-01cs
dc.date.available2013-06-19T06:55:58Z
dc.date.issued2012
dc.date.submitted2012-05-28
dc.description.abstractTato práce popisuje současnou problematiku tenkých vrstev na bázi Zr a B4C. Ukazuje jakých výsledků se do této doby dosáhlo a jaké jsou další možnosti. V další části práce jsou popsány metody tvorby tenkovrstvých systémů zejména pulzní magnetronová depozice. Dále pak metody studia a hodnocení vlastností vrstev (Mechanické, elektrické vlastnosti a oxidační odolnost vrstev za vysokých teplot). V závěru práce jsou prezentovány výsledky, kterých bylo dosaženo při tvorbě Zr-Si-B-C-N vrstev.cs
dc.description.abstract-translatedThis work investigates current problems of thin films based on Zr and B4C. It shows present achievements and opportunities of this field of study. In next part of the work are described methods of deposition of thin films especially pulsed magnetron deposition. Furthermore methods of observation and study of properties of thin films are described. For example: mechanical and electrical properties and high temperature oxidation resistance. The results of deposition of Zr-Si-B-C-N are present at the end of the work.en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format41 s. (49 500 znaků)cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier49976
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/3718
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectTenké vrstvy; magnetronová depozice; naprašování; Zr-Si-B-C-N; mechanické vlastnosti; rezistivita; oxidační odolnostcs
dc.subject.translatedThin films; magnetron deposition; sputtering; Zr-Si-B-C-N; mechanical properties; resistivity; oxidation resistanceen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelBakalářskýcs
dc.thesis.degree-nameBc.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titlePulzní magnetronová depozice tenkovrstvých materiálů ze systému Zr-Si-B-C-Ncs
dc.title.alternativePulsed magnetron deposition of Zr-Si-B-C-N thin filmsen
dc.typebakalářská prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49976

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
Bakalarska prace Tomas Vytisk.pdf
Size:
2.07 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
No Thumbnail Available
Name:
Vytisk_vedouci.pdf
Size:
296.02 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
No Thumbnail Available
Name:
Vytisk_oponent.pdf
Size:
485.07 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
No Thumbnail Available
Name:
Vytisk_otazky.pdf
Size:
202.52 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce