Vlastnosti vrstev CNx připravených magnetronovým naprašováním

Show simple item record
dc.contributor.advisorMusil, Jindřich
dc.contributor.authorProcházka, Jan
dc.contributor.refereeZeman, Petr
dc.date.accepted2012-08-29
dc.date.accessioned2013-06-19T06:32:56Z
dc.date.available2011-05-01cs
dc.date.available2013-06-19T06:32:56Z
dc.date.issued2012
dc.date.submitted2012-07-20
dc.description.abstractV rámci této práce byly naprášeny uhlíkové vrstvy magnetronovou depozicí v argonové atmosféře a vrstvy CNx reaktivní magnetronovou depozicí v argon-dusíkové atmosféře. Byl zkoumán vliv teploty substrátu Ts a složení výbojového plynu na strukturní, mechanické a tribologické vlastnosti deponovaných vrstev. Všechny připravené vrstvy jsou dle RTG analýzy amorfní. S rostoucí teplotou substrátu Ts klesá množství dusíku zabudovaného v rostoucí vrstvě. Bylo zjištěno, že nejlepších tribologických vlastností dosahují a-C vrstvy (koeficient tření ? ~ 0,1, koeficient otěru k ~ 0,15 . 10-6 mm3/Nm) a tyto nezávisí na teplotě substrátu Ts. Vrstvy CNx mají vyšší koeficient tření (? ~ 0,25 - 0,40) a koeficient otěru (k ~ 0,14 - 0,60 . 10-6 mm3/Nm).cs
dc.description.abstract-translatedThis paper reports on carbon coatings and carbon-nitride (CNx) coatings deposited by reactive magnetron sputtering in argon-nitrogen atmosphere onto Si(100) substrates. The effect of subtrate temperature Ts and gas composition on structural, mechanical and tribological properties of sputtered coatings was investigated. All coatigs are X-ray amorphous. The ammount of nitrogen incorporated in the growing coating decreases with increasing temperature Ts . It was found that the best tribological performance exhibit a-C coatings (friction ? ~ 0,1}, wear k ~ 0,15 . 10-6 mm3/Nm}). The friction and wear of a-C coatings are independent on substrate temperature Ts. The CNx coatings exhibit a higher friction (? ~ 0,25 - 0,40}) and wear (\mat{k ~ 0,14 - 0,60 . 10-6 mm3/Nm}).en
dc.description.departmentKatedra fyzikycs
dc.description.resultObhájenocs
dc.format56 s.cs
dc.format.mimetypeapplication/pdf
dc.identifier49903
dc.identifier.urihttp://hdl.handle.net/11025/3260
dc.language.isocscs
dc.publisherZápadočeská univerzita v Plznics
dc.rightsPlný text práce je přístupný bez omezení.cs
dc.rights.accessopenAccessen
dc.subjectmagnetronové naprašovánícs
dc.subjectCNxcs
dc.subjectamorfní uhlíkcs
dc.subjecttribologiecs
dc.subjectmikrotvrdostcs
dc.subjectelastická vratnostcs
dc.subject.translatedmagnetron sputteringen
dc.subject.translatedCNxen
dc.subject.translatedamorphous carbonen
dc.subject.translatedtribologyen
dc.subject.translatedmicrohardnessen
dc.subject.translatedelastic recoveryen
dc.thesis.degree-grantorZápadočeská univerzita v Plzni. Fakulta aplikovaných vědcs
dc.thesis.degree-levelNavazujícícs
dc.thesis.degree-nameIng.cs
dc.thesis.degree-programAplikované vědy a informatikacs
dc.titleVlastnosti vrstev CNx připravených magnetronovým naprašovánímcs
dc.title.alternativeProperties of CNx coatings prepared by magnetron sputteringen
dc.typediplomová prácecs
local.relation.IShttps://portal.zcu.cz/StagPortletsJSR168/CleanUrl?urlid=prohlizeni-prace-detail&praceIdno=49903

Files

Original bundle
Showing 1 - 4 out of 4 results
No Thumbnail Available
Name:
Diplomova_prace_Jan_Prochazka.pdf
Size:
3.74 MB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Plný text práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Prochazka_vedouci.pdf
Size:
421.9 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek vedoucího práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Prochazka_oponent.pdf
Size:
814.77 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Posudek oponenta práce
Download
No Thumbnail Available
Name:
Prochazka_otazky.pdf
Size:
34.09 KB
Format:
Adobe Portable Document Format
Description:
Průběh obhajoby práce
Download

Collections

Theses (KFY)