Possibilities of Increasing the Usability of Sputtered AZO Films as a Transparent Electrode

Date issued

2019

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Wiley

Abstract

Oxid zinečnatý dopovaný hliníkem (AZO) je slibným kandidátem pro nahrazení vrstev indiem dopovaného oxidu cíničitého (ITO) jako transparentní elektrody. Vzhledem ke své nižší ceně se používá při výrobě křemíkových solárních článků, je však obtížné získat vhodné elektrické vlastnosti při nízkých depozičních teplotách. Příprava filmů s nízkou tloušťkou AZO při nízké depoziční teplotě je předmětem intenzivního výzkumu. Předkládaná práce shrnuje uvedené výsledky, diskutuje příčiny rozdílů mezi vrstvami ITO a AZO a navrhuje směr výzkumu a potenciální řešení, které by mělo vést ke zvýšení využitelnosti AZO vrstev a také možnému nahrazení ITO vrstev.

Description

Subject(s)

Hliníkem dopované oxid zinečnatý, mangetronové naprašování, transparentní vodivé vrstvy

Citation

NOVÁK, P. Possibilities of Increasing the Usability of Sputtered AZO Films as a Transparent Electrode. Physica status solidi a-applications and materials science, 2019, roč. 216, č. 7, ISSN 1862-6300.
OPEN License Selector