Pressure Sensor Catheter based on Micromachined Aluminum Nitride Membrane Fiber Tip Fabry-Pérot-Interferometer

Abstract

Description

Subject(s)

optické senzory, Fabry–Pérot interferometr, hydrostatický tlak, teplota, výslechové zařízení, AlN membrána, katétr

Citation

2021 International Conference on Applied Electronics: Pilsen, 7th – 8th September 2021, Czech Republic, p. 43-46.