Reaktivní magnetronová depozice Al-Si-N a charakterizace jejich vlastností
Date issued
2015
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato diplomová práce pojednává o mechanických vlastnostech nanokompozitních vrstev Al-Si-N připravených nevyváženým magnetronovým naprašováním ze slitinového terče Al-Si (90 hm.% Al, 10 hm.% Si) a jejich odolnosti proti vzniku trhlin při namáhání ohybem a indentací s vysokým zatížením (až 1 N). Zabývá se hledáním depozičních podmínek, při kterých bude možné připravit vrstvy systému Al-Si-N se zvýšenou odolností proti vzniku trhlin. Vrstvy by měly vykazovat (i) parametr vyjadřující elasticitu
H/E^*0.13, (ii) vysokou elastickou vratnost W_e80 %, (iii) makropnutí -1 GPa a (iv) střední potenciál substrátu v době pulzu U_sap|-50 | V, pro zvýšenou odolnost vůči vzniku trhlin.
Description
Subject(s)
reaktivní magnetronová depozice, nenvyvážený magnetron, al-si-n, mechanické vlastnosti, odolnost proti praskání, indentační zkouška, ohybová zkouška, tvrdost, nanokompozit