Elektronická vyhodnocovací jednotka pro vakuovou měrku
Date issued
2013
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato práce se zabývá konstrukcí vyhodnocovací jednotky pro vakuovou měrku. V první části jsou vysvětleny obecné pojmy z oblasti tlaku a vakua. Jsou zde rovněž zmíněny používané jednotky tlaku. Dále jsou rozebírány způsoby vytváření tenkých vrstev s důrazem na fyzikální depozici z plynné fáze. Další část je zaměřena na různé principy měření vakua. Poté je popsána vakuová měrka Pfeiffer PKR 251. Hlavní částí práce je popis konstrukce, schématu zapojení, mikrokontroléru a principu funkce vyhodnocovací jednotky.
Description
Subject(s)
vakuum, vakuová měrka, fyzikální depozice z plynné fáze, měření tlaku, vyhodnocovací jednotka