Elektronická vyhodnocovací jednotka pro vakuovou měrku

Abstract

Tato práce se zabývá konstrukcí vyhodnocovací jednotky pro vakuovou měrku. V první části jsou vysvětleny obecné pojmy z oblasti tlaku a vakua. Jsou zde rovněž zmíněny používané jednotky tlaku. Dále jsou rozebírány způsoby vytváření tenkých vrstev s důrazem na fyzikální depozici z plynné fáze. Další část je zaměřena na různé principy měření vakua. Poté je popsána vakuová měrka Pfeiffer PKR 251. Hlavní částí práce je popis konstrukce, schématu zapojení, mikrokontroléru a principu funkce vyhodnocovací jednotky.

Description

Subject(s)

vakuum, vakuová měrka, fyzikální depozice z plynné fáze, měření tlaku, vyhodnocovací jednotka

Citation

OPEN License Selector