Controlled reactive HiPIMS: effective technique for low-temperature (300°C) synthesis of VO2 films with semiconductor-to-metal transition
Date issued
2017
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Description
Subject(s)
nízkoteplotní sysntéza, polovodič, kov, HiPIMS
Citation
LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: bakalářské studijní programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2017, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2017, s. [23-24]. ISBN 978-80-261-0706-4.