Optimalizace naprašovaných ZnO:Al vrstev pro flexibilní nanogenerátor napětí

Date issued

2017

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Hlavním cílem této práce je optimalizovat depozici ZnO:Al vrstev tak, aby mohly nahradit vrstvu ITO ve flexibilním nanogenerátoru napětí. V úvodu je popsán flexibilní nanogenerátor napětí na bázi ZnO nanostruktur. Dále je popsána problematika transparentních vodivých oxidů (TCO), jejich elektrické a optické vlastnosti a charakterizován je vybraný materiál: oxid zinečnatý dopovaný hliníkem. Předmětem experimentu je analýza vlivu nevodivé mezifázové vrstvy na vlastnosti vrstev AZO a analýza vzorků vytvořených současným naprašováním ze dvou terčů, kde je zkoumán vliv koncentrace kyslíku ve vrstvách na jejich vlastnosti.

Description

Subject(s)

transparentní vodivé oxidy, tenké vrstvy zno:al, elektrické vlastnosti, optické vlastnosti, strukturní vlastnosti, nanogenerátor napětí, magnetronové naprašování

Citation