Využití mikroelektromechanických systémů v senzorech plynů
Date issued
2012
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Předkládaná bakalářská práce je zaměřena na popis mikroelektromechanických systémů
(MEMS) a jejich využití. Jsou zde rozebírány základní principy funkce těchto systémů.
V práci je také stručná historie MEMS a popis základních technologií používaných
k výrobě MEMS. Další část této bakalářské práce je soustředěna na senzory (především
pro detekci plynů), jejich rozdělení a principy.
Description
Subject(s)
mikroelektromechanické systémy, mikrotechnologie, mikrosystémy, senzory plynů, HEXSIL, HARPSS, LIGA