Využití mikroelektromechanických systémů v senzorech plynů

Abstract

Předkládaná bakalářská práce je zaměřena na popis mikroelektromechanických systémů (MEMS) a jejich využití. Jsou zde rozebírány základní principy funkce těchto systémů. V práci je také stručná historie MEMS a popis základních technologií používaných k výrobě MEMS. Další část této bakalářské práce je soustředěna na senzory (především pro detekci plynů), jejich rozdělení a principy.

Description

Subject(s)

mikroelektromechanické systémy, mikrotechnologie, mikrosystémy, senzory plynů, HEXSIL, HARPSS, LIGA

Citation