Návrh technologického postupu laboratorní přípravy DPS
Date issued
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Bakalářská práce je zaměřena na návrh technologického postupu přípravy DPS, konkrétněji na optimalizaci fotolitografického procesu.
Práce je rozdělena do dvou částí. První část rešeršní slouží jako úvod do problematiky. Část druhá se zabývá experimentem s jeho následným vyhodnocením pomocí naměřených výsledků.
Výstupem práce je optimální kombinace faktorů, které probíhají při fotolitografickém procesu, informace o rovnoměrnostech procesů, vliv faktorů na výslednou kvalitu procesů a porovnání mezi různými kombinacemi faktorů.
Description
Subject(s)
technologický návrh DPS, výroba DPS, fotolitografie, fotolitografický proces, optimalizace fotolitografie, optimalizace procesu