Laserové čištění vakuových komor pro splnění ISO parametrů čistých prostor
Date issued
2024-06-28
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Diplomová práce se soustředí na nalezení praktického řešení problematiky čištění vakuových komor různých velikostí se specifickými požadavky čistoty. Obsahuje experimentální ověření použitelnosti technologie čištění laserem, a to skrze testování na třech laserových sestavách, dvou různých materiálech a čtyřech znečištěních, které byly po laserovém čištění vyhodnocovány z hlediska čistoty a materiálových změn.
Description
Subject(s)
Laser, laserové čištění, vakuum, vakuová komora, čistota