Laserové čištění vakuových komor pro splnění ISO parametrů čistých prostor

Abstract

Diplomová práce se soustředí na nalezení praktického řešení problematiky čištění vakuových komor různých velikostí se specifickými požadavky čistoty. Obsahuje experimentální ověření použitelnosti technologie čištění laserem, a to skrze testování na třech laserových sestavách, dvou různých materiálech a čtyřech znečištěních, které byly po laserovém čištění vyhodnocovány z hlediska čistoty a materiálových změn.

Description

Subject(s)

Laser, laserové čištění, vakuum, vakuová komora, čistota

Citation

Collections

OPEN License Selector