Redesign of the supply electronics of the temperature gauge in a HF CVD reactor

Abstract

HF CVD (hot filament chemical vapour deposition) reaktor je technologické zariadenie, v ktorom sa na rôznych substrátoch syntetizujú uhlíkové nanorúr ky. Reaktor pracuje na princípe pyrolýzy metánu a vodíka. Substrát je umiestnený na molybdénovom držiaku niekoľko milimetrov pod žeravenými (2200 °C) volfrámovými vláknami a jeho teplota počas syntézy je optimalizovaná cca na 600 °C. Merania a regulácie teploty rotačného držiaku v priebehu syntézy sa vykonáva teplomerom s bezdrôtovým optickým prenosom dát. Počas prevádzky zariadenia sa v yskytol závažný probl é m, a to nestabilné napájanie, čo viedlo ku kolísaniu teploty v reaktore. To je dôvod, prečo bolo navrhnuté iné riešenie za použitia impulzného napájacieho zdroja. Merací reťazec bol zjednodušený od stránením mobilných kontaktov a izolačných zosilňovačov, ktoré po prehriatí pracovali ne s p r ávne a skresľovali údaje o teplote. Výsledkom tejto práce je návrh a rekonštrukcia obvodov napájajúcich merač teploty v HF CVD reaktore.