Plasma diagnostics in high-power impulse magnetron sputtering of compound NbC target
Date issued
2023
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Description
Subject(s)
NbC, diagnostika, plazma
Citation
RENDL, Jan (ed.). Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské studijní programy, 25.5. 2023, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2023, s. 9-10.