Možnosti a parametry MEMS mikrofonů

Abstract

Práce se soustředí na prozkoumání parametrů a různých principů měření MEMS mikrofonů. V práci jsou analyzovány základní principy a funkce těchto mikrofonů. Další část práce zkoumá základní rysy a kalibrační metody zmíněných mikrofonů. V rámci práce bylo vybráno několik zajímavých mikrofonů, pro které byly navrženy DPS. Snímače byly realizovány. Následně byla zvolena vhodná měřící metoda pro ověření parametrů jednotlivých senzorů.

Description

Subject(s)

mikroelektromechanické systémy, MEMS, mikrofon, akustika, kalibrační metody, pistonfon, parametry mikrofonů

Citation

Collections