Role of Zr in Cu-rich single-phase and nanocomposite Cu‒Zr: Molecular dynamics and experimental study

Abstract

The non-equilibrium atom-by-atom growth of Cu-rich Cu‒Zr thin films has been investigated by a combination of magnetron sputter deposition and molecular dynamics simulations. We focus on the role of Zr in the transition from large solid solution crystals through a nanocomposite (around ≈ 5 at.% Zr) to a metallic glass. We find, contrary to the assumption based on equilibrium phase diagram, that in this non-equilibrium case most of the grain refinement and most of the hardness enhancement (from 2.5‒3 to 4‒5 GPa) takes place in the compositional range (up to ≈ 3 at.% Zr) where many or even most Zr atoms (depending on the sputtering regime) are in the supersaturated solid solution rather than at the grain boundaries. The results are important for the design and understanding of technologically important nanostructured metallic films. In parallel, from the methodology point of view, the results include an early example of modelling the atom-by-atom nanocomposite growth.Nerovnovážný růst tenkých vrstev Cu‒Zr bohatých na Cu atom po atomu byl prozkoumán kombinací magnetronového naprašování a simulací založených na molekulární dynamice. Soustředíme se na roli Zr v přechodu od velkých krystalů tuhých roztoků přes nanokompozit (kolem ≈ 5 at. % Zr) ke kovovému sklu. Objevili jsme, v rozporu s předpokladem založeným na rovnovážném fázovém diagramu, že v této nerovnovážné situaci dochází ke většině zjemňování zrn a většině zvýšení drsnosti (z 2,5‒3 na 4‒5 GPa) v tom rozsahu složení (do ≈ 3 at. % Zr), kde je mnoho nebo dokonce většina atomů Zr (v závislosti na režimu naprašování) v supersaturovaném tuhém roztoku spíše než na hranicích zrn. Výsledky jsou důležité pro design a porozumění technologicky důležitým nanostrukturovaným kovovým vrstvám. Z metodologického hlediska platí, že výsledky představují raný příklad modelování růstu nanokompozitu atom po atomu.