Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro oblast PV
Date issued
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni.
Description
Subject(s)
fotovoltaika, tenká vrstva, Si/SiO2, superstruktura, optické a strukturní vlastnosti, depozice, depoziční aparatura, polovodičová technika, FTIR, Ramanova spektroskopie, PECVD, PVD