Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro oblast PV

Date issued

2014

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Předkládaná diplomová práce "Příprava a studium křemíkových multivrstevnatých superstruktur a-Si:H/SiO2 pro PV" se zabývá technikami přípravy tenkých vrstev (PVD, CVD, PECVD), metodami jejich identifikace (optickou a strukturní analýzou vrstev) pomocí Ramanovy spektroskopie, FTIR, XRD, UV-Vis spektrofotometrie a spektroskopické elipsometrie. V praktické části je popsána příprava substrátů a multivrstevnatých vzorků, jejich žíhání a následná analýza (z výše zmíněných metod). K této činnosti bylo použito vybavení na pracovišti NTC ZČU v Plzni.

Description

Subject(s)

fotovoltaika, tenká vrstva, Si/SiO2, superstruktura, optické a strukturní vlastnosti, depozice, depoziční aparatura, polovodičová technika, FTIR, Ramanova spektroskopie, PECVD, PVD

Citation

Collections

OPEN License Selector