Simulace napouštění reaktivního plynu do vakuové komory
Date issued
2015
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Description
Subject(s)
magnetronové naprašování, simulace
Citation
LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2015, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2015, s. 23-24. ISBN 978-80-261-0505-3.