Theoretical and experimental investigation of SiC thin films surface
Date issued
2012
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni, Fakulta elektrotechnická
Abstract
Description
Subject(s)
tenké vrstvy, SiC, morfologie, struktura
Citation
Electroscope. 2012, č. 5, EEICT 2012.