Příprava a charakterizace naprašovaných ZnO vrstev pro flexibilní piezogenerátor.
Date issued
2019
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato diplomová práce má za cíl optimalizovat depozici piezoelektrické vrstvy ZnO pro použití ve flexibilním piezogenerátoru. V úvodu práce je stručný úvod do technologií, které získávají volnou energii z okolí a mění ji na elektrickou energii, dále je popsána podstata piezoelektrického principu. Podrobně je popsán postupný vývoj nanogenerátoru napětí zejména na bázi ZnO nanostruktur. Oxidu zinečnatému je věnována také jedna kapitola. V experimentální části je zjišťován vliv koncentrace kyslíku, depozičních teplot a dvou základních substrátů na napětí ve vrstvách. V práci jsou hodnoceny výsledky RTG difrakční analýzy a výsledky z měření reziduálního napětí ve vrstvách. Dále jsou hodnoceny optické a elektrické vlastnosti.
Description
Subject(s)
energy harvesting, piezoelektrický jev, nanogenerátor napětí, oxid zinečnatý, magnetronové naprašování, rtg difrakce, zbytkové napětí