Příprava a charakterizace naprašovaných ZnO vrstev pro flexibilní piezogenerátor.

Date issued

2019

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Tato diplomová práce má za cíl optimalizovat depozici piezoelektrické vrstvy ZnO pro použití ve flexibilním piezogenerátoru. V úvodu práce je stručný úvod do technologií, které získávají volnou energii z okolí a mění ji na elektrickou energii, dále je popsána podstata piezoelektrického principu. Podrobně je popsán postupný vývoj nanogenerátoru napětí zejména na bázi ZnO nanostruktur. Oxidu zinečnatému je věnována také jedna kapitola. V experimentální části je zjišťován vliv koncentrace kyslíku, depozičních teplot a dvou základních substrátů na napětí ve vrstvách. V práci jsou hodnoceny výsledky RTG difrakční analýzy a výsledky z měření reziduálního napětí ve vrstvách. Dále jsou hodnoceny optické a elektrické vlastnosti.

Description

Subject(s)

energy harvesting, piezoelektrický jev, nanogenerátor napětí, oxid zinečnatý, magnetronové naprašování, rtg difrakce, zbytkové napětí

Citation

Collections

OPEN License Selector