Vliv energie částic na vlastnosti vrstev Me-B-C-(N) připravených reaktivní magnetronovou depozicí
Date issued
2014
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Description
Subject(s)
magnetronová depozice, Me-B-C-(N) vrstva
Citation
LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2014, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2014, s. [27-28]. ISBN 978-80-261-0365-3.