Metodika přípravy příčných řezů z tenkých vrstev a zkoumání jejich mikrostruktury v transmisním elektronovém mikroskopu

Date issued

2019

Journal Title

Journal ISSN

Volume Title

Publisher

Západočeská univerzita v Plzni

Abstract

Tato práce je zaměřena na vybranou metodiku přípravy příčných řezů z tenkých vrstev pro transmisní elektronový mikroskop (TEM) a analýzu struktury tenkých AZO vrstev. Popis metodiky je doplněn poznatky a doporučeními, jak urychlit proces přípravy, avšak se zachováním požadované kvality. Na teoretický popis krystalických látek navazuje v experimentální části práce analýza difraktogramu a snímků vysokého rozlišení z TEM. Cílem této práce je zmapování dané struktury (hranice zrn, mřížkové parametry a vliv snížení obsahu kyslíku v tenké AZO vrstvě). Tato data budou sloužit pro další výzkum.

Description

Subject(s)

tem, transmisní elektronový mikroskop, tenké vrstvy, příprava příčných řezů, struktura azo vrstev

Citation

OPEN License Selector