Testování adheze tenkých vrstev metodou cross hatch

Abstract

Práce je věnována studiu a popisu tenkých vrstev a to především testování jejich adheze k substrátu. Úvodní část práce se zaměřuje na obecný popis, předdepoziční úpravy povrchů a následně na samotnou depozici tenkých vrstev. V druhé polovině práce jsou popsány metody testování adheze tenkých vrstev jako je např. vrypová zkouška, odtrhová zkouška, Mercedes test, zkouška smykem, atd. Největší důraz je kladen na metodu zkoušení adheze tenkých vrstev nazývanou cross hatch test neboli zkouška mřížkovým řezem. Tato metoda je zde podrobně popsána a v závěru práce i experimentálně odzkoušena na několika vzorcích lišících se materiálem vrstvy a substrátem, na němž je vrstva nanesena.