Reactive high-power impulse magnetron sputtering of thermochromic VO2 films on silicon substrate at low deposition temperatures
Date issued
2016
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Description
Subject(s)
magnetronové naprašování, vanad uhličitý, teplota
Citation
LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2016, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2016, s. [35-36]. ISBN 978-80-261-0621-0.