Studium tenkých oxidových vrstev připravených na polymerních substrátech.
Date issued
2019
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Tato diplomová práce se zabývá zkoumáním tenkých ZnO vrstev na flexibilních polymerních substrátech. Vrstvy byly připraveny RF magnetronovým naprašování na PET sbustrát o tloušťce 0.15mm. Hlavní pozornost byla věnována dvěma metodám pro charakterizaci lomového chování, jmenovitě scratch test and bending test. Hlavním cílem bylo popsat vlastnosti vrstev od 100 do 500nm. Bylo zjištěno, že vrstvy nevykazují žádné trhliny až do napětí 0,01875. Při bending testu a s klesající tloušťkou roste hustota trhlin.
Description
Subject(s)
tenké vrstvy zno, polymerní substráty, vrypová zkouška, lomová houževnatost, rf magnetronové naprašování