Monte Carlo simulace napouštění reaktivního plynu pro reaktivní magnetronové naprašování vrstev
Files
Date issued
2016
Authors
Journal Title
Journal ISSN
Volume Title
Publisher
Západočeská univerzita v Plzni
Abstract
Description
Subject(s)
Monte Carlo, reaktivní magnetronové naprašování, plyn
Citation
LUKEŠ, Vladimír ed. Studentská vědecká konference: magisterské a doktorské programy, sborník rozšířených abstraktů, květen 2016, Plzeň. Plzeň: Západočeská univerzita v Plzni, 2016, s. 55-56. ISBN 978-80-261-0621-0.